【速報】猛毒・半導体工場でフッ素化合物漏洩

2024.09.23

最近、いくつかの半導体工場でフッ素化合物に関する問題が報じられています。例えば、韓国のSK Hynixの最先端DRAM工場でフッ化水素の漏洩事故が発生し、作業者が負傷する事故がありました1。また、ソニーグループの半導体工場では、有害性のあるフッ化水素の処理量を誤って報告したケースもありました2